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微光刻与微/纳米加工技术(续)
微光刻与微/纳米加工技术(续)
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微纳电子技术
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
开本：
大16开
出版地：
石家庄市179信箱46分箱
邮发代号：
18-60
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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