一种基于MEMS工艺的新型THz喇叭天线的设计与仿真

• 作者: 唐旭升 郭林 黄风义
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹(THz)天线 角锥喇叭天线 微电子机械系统 氢氧化钾刻蚀
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 507-510
• 分类号: TN823
• 字数: 1232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2011.05.006

摘要

提出了一种太赫兹(THz)天线结构:基于MEMS 工工艺的THz角锥喇叭天线.采用电磁场仿真软件Ansoft HFSS 11对所设计的天线进行仿真,结果表明该天线在2.5 THz ～3.5 THz范围以内具有回波损耗优于-25 dB,增益大于15 dB的良好特性.天线可以通过MEMS工艺(硅基KOH刻蚀)制造,具有加工费用低的优点,适用于THz雷达,通信和成像系统等太赫兹系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄风义	东南大学信息科学与工程学院	17	38	4.0	4.0
2	郭林	东南大学信息科学与工程学院	5	15	2.0	3.0
3	唐旭升	东南大学信息科学与工程学院	5	11	2.0	3.0