CMOS电容式湿度传感器特性研究

• 作者: 刘岩 秦明 聂萌 赵成龙
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式传感器 湿度传感器 CMOS 工艺 MEMS
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 379-382
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1763字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2011.04.007

摘要

提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案.研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS 后处理技术加工而成.为了测试湿度传感器的响应时间,设计了一种响应时间测试装置.测试结果表明,该电容式湿度传感 器在相对湿度25％～95％的范围内具有较好的线性度；其回滞在75％RH时达到最大,为2％ RH；该传感器响应时间较短；短 期测试无明显漂移.