Parylene涂覆材料及其应用

• 作者: 徐爱东 韩建栋
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 派瑞林 摩擦系数 微电子机械系统 气相沉积 涂覆材料
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 430-433
• 分类号: TM215.1|TH703
• 字数: 3044字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.06.004

摘要

介绍了一种热塑性高分子材料派瑞林(Parylene).首先介绍了不同型号材料的分子结构和Parylene的涂覆过程;接着对其特性进行了较全面阐述,该材料具有良好的物理和机械性能,具有低摩擦系数、优良的耐溶剂性能和耐酸碱特性等突出特点,并将其综合性能和其他常用涂层性能进行了比较.介绍了Parylene涂层在MEMS领域、电子行业、医疗器械以及文物保护方面的应用,及其在微电子领域的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐爱东	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	62	4.0	7.0
2	韩建栋	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	18	1.0	4.0