硅粉过滤器选型及计算

• 作者: 刘建中
• 来源期刊: 机电信息
• 学科: 工学
• 关键词: 硅粉过滤器 滤芯 反吹
• 年，卷（期）: 2011,（30）
• 所属期刊栏目: 装备应用与研究
• 页码范围: 83-83,85
• 分类号: TU47
• 字数: 2786字
• 语种: 中文

摘要

介绍了尾气过滤器的型式，分析探讨了多晶硅生产过程中如何对硅粉过滤器进行合理选型与过滤面积计算。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建中		7	6	2.0	2.0