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面向可持续发展的半导体制造的集成产品和过程控制
面向可持续发展的半导体制造的集成产品和过程控制
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摘要：
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可持续发展时代的过程集成
可持续发展
过程集成
综述
面向区域可持续发展的数据模型研究
区域可持续发展
数据模型
超图数据模型
农电可持续发展体制模式研究
农电
可持续发展
体制模式
思路
关于制造业的可持续发展问题
制造业
可持续发展
网络化制造
智能制造
绿色制造
内容分析
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文献信息
| 篇名 | 面向可持续发展的半导体制造的集成产品和过程控制 | ||
| 来源期刊 | 中国化学工程学报（英文版） | 学科 | 化学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2011,（2） | 所属期刊栏目 | 第二届国际绿色化工产品和过程工程研讨会 |
| 研究方向 | 页码范围 | 192-198 | |
| 页数 | 分类号 | O649 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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中国化学工程学报(英文版)
主办单位：
中国化工学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-9541
CN：
11-3270/TQ
开本：
大16开
出版地：
北京东城区青年湖南街13号
邮发代号：
80-448
创刊时间：
1982
语种：
eng
出版文献量（篇）
4237
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