基于MEMS的固态风速风向传感器及其最优结构参数

• 作者: 杜利东 杨帆 赵湛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 物理量传感器 结构参数 圆柱绕流 风速风向传感器 MEMS
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 342-345
• 分类号: TP212
• 字数: 2792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.03.006

摘要

基于圆柱绕流的理论分析给出圆柱体周边压强分布方程,并据此提出了一种新型的基于MEMS的固态风速风向传感器结构.建立了其内部流体流动的理论模型,并利用该模型进行数值计算得到了这种传感器的最优结构参数.分析表明,利用相互正交的MEMS风速传感器测量风向是可行的,并且具有多个通风孔结构的传感器可以有更高的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨帆	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	180	1565	19.0	33.0
5	赵湛	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	54	723	10.0	26.0
6	杜利东	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	63	104	7.0	8.0