飞秒激光光刻波导偏振器

• 作者: Razvan Stoian 吕百达 惠荣庆 杨小君 林灵 白晶 程光华 龙学文
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光 光刻 波导偏振器
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 激光技术
• 页码范围: 818-822
• 分类号: O43
• 字数: 2999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20114006.0818

摘要

飞秒激光诱导折射率变化提供了一种灵活的三维光子器件制作手段.飞秒激光光刻的Ⅱ类波导具有偏振导光特性,可以作为波导偏振器,但是对于要保留的偏振分量损耗太大.本文阐述了一种利用飞秒激光在熔融石英中制作的新型低损耗波导偏振器.它由中间的一根Ⅰ类波导及两侧的两根Ⅱ类纳米光栅轨迹构成.基于飞秒激光诱导的纳米光栅的偏振依赖散射特性,Ⅱ类纳米光栅轨迹能够对Ⅰ类波导的倏逝场进行调制.偏振方向垂直于纳米光栅的模式相对于偏振方向平行于纳米光栅的模式有更大的散射损耗,因此导通的是偏振方向平行于纳米光栅的模式.研究了消光比随Ⅰ类波导与Ⅱ类纳米光栅轨迹之间的间距的变化关系,选择一个最佳间距来进一步研究消光比随Ⅱ类纳米光栅轨迹长度的变化关系.在间距6 μm,Ⅱ类纳米光栅轨迹扫描长度6 mm处实现了最大15.91 dB的消光比.通过增加Ⅱ类轨迹的长度或者数量,很容易得到更高的消光比.