AlN薄膜的热应力模拟计算

• 作者: 张秀 徐扬 王玉霞 邹微微
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 物理学
• 关键词: 热应力 AlN薄膜 有限元
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 10-14
• 分类号: O484.4
• 字数: 2510字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OMEI 20112801.0010

摘要

本文通过ANSYS有限元分析软件对薄膜的热应力进行了模拟计算,并通过理论计算验证了其合理性.模拟出了薄膜应力值及分布情况,分析了薄膜沉积温度与薄膜厚度对薄膜度应力的影响.从模拟的结果可以看出,薄膜上表面X方向应力主要集中在薄膜中心,边缘应力较小,但边缘的形变较大;薄膜的热应力随着薄膜沉积温度的升高而增大,随着膜厚的增加而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉霞	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	20	136	6.0	11.0
2	邹微微	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	3	9	2.0	3.0
3	徐扬	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	3	5	1.0	2.0
4	张秀	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	2	9	2.0	2.0