基于聚吡咯微电极的MEMS微型超级电容器的研究

• 作者: 周扬 尤政 张高飞 王晓峰 阮勇
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微型超级电容器 聚吡咯 碳纳米管 比容量
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 1-6
• 分类号: TM53
• 字数: 4316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2011.01.001

摘要

MEMS 微能源是指采用微加工技术制作实现能量的获取与转换、存储与释放的微纳器件与系统,而微型超级电容器则是一种基于电化学电容实现储能的微型能量存储器件,可作为能量存储单元在MEMS微电源系统中获得应用.设计制作了一种具有两腔并排式结构的微型聚吡咯超级电容器.该微型超级电容器南微结构,微电极功能薄膜以及酸性电解液构成,其微结构是基于ICP刻蚀等微加工工艺加工实现的,而微电极功能薄膜是通过电化学沉积工艺在集流体表面沉积聚吡咯功能薄膜制备而成的.测试结果表明上述微犁超级电容具有6.6mF/cm2的比容量,其能量密度能达到3mJ/cm2.电化学测试结果表明,与纯聚吡咯膜相比,聚吡咯/碳纳米管复合功能薄膜阻抗显著降低,容量明显提高,基于上述复合功能薄膜的微型超级电容器其充放电性能可得到显著改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系	175	1605	21.0	32.0
2	张高飞	清华大学精密仪器与机械学系	34	356	11.0	18.0
3	王晓峰	清华大学精密仪器与机械学系	50	969	18.0	30.0
4	阮勇	清华大学精密仪器与机械学系	8	44	4.0	6.0
5	周扬	清华大学精密仪器与机械学系	7	15	1.0	3.0