MEMS传感器现状及应用

• 作者: 王淑华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 传感器 加速度计 陀螺仪 压力传感器
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 516-522
• 分类号: TH703
• 字数: 6017字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.08.008

摘要

MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛.首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用.其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况.介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况.最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王淑华	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	236	3.0	7.0