sol-gel法制备氧化锌铝陶瓷靶材及其性能研究

• 作者: 刘磊 张勤勇 王鹏飞 金应荣 陈建文
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: AZO靶材 sol-gel法 致密度 电阻率
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 4-7
• 分类号: TB43
• 字数: 2836字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.01.002

摘要

为提高常压烧结法制备的掺铝氧化锌(AZO)靶材性能,以sol-gel法制备的Al-ZnO复合纳米粉末为原料,对制备工艺参数进行了优化.结果表明:湿法球磨对生坯的密度均匀性有利;随成型压力提高靶材致密度先升后降,电阻率呈相反趋势;增加烧结保温时间,晶粒尺寸变大,致密度与电阻率改善不明显;采用2 MPa成型压力,在1 250℃烧结1.0 h,所得到的掺杂质量分数为2%的Al的ZnO靶材致密度达99.2%,电阻率约为2×10-2Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金应荣	西华大学材料科学与工程学院	59	141	5.0	7.0
2	张勤勇	西华大学材料科学与工程学院	34	153	7.0	11.0
3	陈建文	西华大学材料科学与工程学院	5	17	3.0	3.0
4	王鹏飞	西华大学材料科学与工程学院	5	15	3.0	3.0
5	刘磊	西华大学材料科学与工程学院	8	37	3.0	6.0