不同压力下硬质合金表面微波等离子体化学气相沉积SiC涂层规律性的研究

• 作者: 于盛旺 吕反修 唐伟忠 张思凯 胡浩林 范朋伟 黑鸿君
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SiC涂层 硬质合金 沉积压力 金刚石涂层
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 页码范围: 876-881
• 分类号: O484
• 字数: 4662字
• 语种: 中文

摘要

以氢气和四甲基硅烷作为先驱气体,采用微波等离子体化学气相沉积法,不同沉积压力条件下、在YG6硬质合金表面制备了的SiC涂层.利用SEM、EDS、XRD、划痕测试法对SiC涂层的表面形貌、相组成和附着力进行了分析.实验结果表明,在较低的压力下,SiC涂层为胞状的纳米团聚物,且胞团的尺度随压力的升高而变小；随着压力的升高,胞状SiC开始并最终全部转变为片层状SiC,并在此过程中伴随着颗粒状Co2Si的形成与长大；随着压力的继续升高,片层状SiC开始转变为须状SiC.胞状SiC向片层状SiC的转变会使涂层致密度提高,而涂层对硬质合金衬底的附着力也会随之增强；Co催化作用的上升引起的片层状SiC向须状SiC的转变会导致SiC涂层的附着力明显降低.以具有片层状特征的SiC作为过渡层,可在未经去Co酸蚀预处理的硬质合金衬底上制备出具有较好附着力的金刚石涂层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	于盛旺	北京科技大学材料科学与工程学院	10	79	5.0	8.0
4	胡浩林	北京科技大学材料科学与工程学院	3	4	1.0	2.0
5	张思凯	北京科技大学材料科学与工程学院	3	15	3.0	3.0
6	范朋伟	北京科技大学材料科学与工程学院	3	39	3.0	3.0
7	黑鸿君	北京科技大学材料科学与工程学院	4	5	1.0	2.0