微通道板离子壁垒膜粒子阻透特性的蒙特卡罗模拟

• 作者: 姜德龙 房立峰 李野 田景全 那延祥
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微通道板 离子壁垒膜 蒙特卡罗模拟 电子透过 离子阻止
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 816-820
• 分类号: TN223
• 字数: 652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113208.0816

摘要

在三代微光像管中,微通道板(MCP)输入面上覆盖一层超薄离子壁垒膜(IBF),目的是保护光电阴极,延长像管使用寿命.为了深入研究离子壁垒膜的特性,本文对Al2O3和SiO2两种离子壁垒膜的粒子阻透能力进行了蒙特卡罗模拟,结果表明:5 nm厚Al2O3和SiO2离子壁垒膜的死电压分别为230 ～240 V和220～230 V之间；输入能量0.24 keV时背散射电子数最高达19％左右；输入能量0.8 keV时,Al2O3膜电子透过率为87.16％,SiO2膜为88.12％,电子透过的极限膜厚前者为15 nm,后者为16nm；对于输入能量0.26 keV的C+、N+、O+离子,Al2O3膜的离子阻当率为95％ ～99％；Al2O3离子壁垒膜在厚度5nm时具有较好的电子透过率和较高的离子阻挡率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田景全	长春理工大学理学院	24	327	8.0	17.0
2	李野	长春理工大学理学院	68	297	9.0	13.0
3	姜德龙	长春理工大学理学院	25	153	6.0	10.0
4	那延祥	长春理工大学理学院	6	17	2.0	4.0
5	房立峰		1	5	1.0	1.0