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摘要：

We investigate reactive fluorine atom spectroscopic characterization in atmospheric pressure of He/SF6plasma using atomic emission spectrometry.As input radio frequency (RF) power levels are raised from 140to 220 W, the emission spectra of 685.60 (3p4D→3s4P transition) and 739.87 nm (3p4P→3s4P transition)increase significantly.Moreover, an optimal value of SF6 volume concentration in the production of fluorine radicals, which is 0.8% is achieved.Addition of certain amounts of O2 into He/SF6 plasma results in the promotion of SF6 dissociation.Emission intensities of fluorine atoms show the maximum at the O2/SF6ratio of 0.4.

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篇名
来源期刊	中国光学快报（英文版）	学科
关键词
年，卷（期）	2011,（6）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	97-99
页数	3页	分类号
字数		语种	英文
DOI	10.3788/COL201109.063001.