Parylene F薄膜介电材料的制备与研穷

• 作者: 吉祥波 唐贤臣 赵宗峰 鲜晓斌
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 介电材料 Parylene F薄膜 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2011,（z3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 477-480
• 分类号: TQ316
• 字数: 2850字
• 语种: 中文

摘要

通过真空化学气相沉积方法制备了Parylene F薄膜,采用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了表面形貌,并用红外光谱(IR)、X射线光电子能谱(XPS)及热重分析仪(TGA)等分析手段对薄膜组成与性能进行了表征,阻抗分析仪测试了薄膜的介电参数.研究结果表明化学气相沉积方法制备的Parylene F薄膜是一种致密光滑、性能较优、易于成型且具有较大潜在应用前景的介电材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲜晓斌		47	280	10.0	12.0
2	唐贤臣		13	38	4.0	6.0
3	赵宗峰		4	29	3.0	4.0
4	吉祥波		11	34	3.0	5.0