涡轮分子泵的技术进展

• 来源期刊: 实验与分析
• 学科: 工学
• 关键词: 涡轮分子泵 技术进展 超高真空 性能稳定 真空泵 无污染
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 页码范围: 54-54
• 页数: 1页
• 分类号: TB752.27

摘要

作为真空泵技术的重要分支，涡轮分子泵历经几十年的技术发展，以易清洁、操作方便、性能稳定等优势，在无污染的高真空和超高真空领域获得了广泛应用。