超导纳米线单光子探测器

• 作者: 吴培亨 康琳 张蜡宝 曹春海 许伟伟 赵清源 郏涛 金飚兵 陈健
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 单光子 氮化铌 纳米线 探测器
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 790-796
• 分类号: O572.212
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射、电子束光刻和反应离子刻蚀等微加工技术,开展了超导纳米线单光子探测器(SNSPD)的研究.通过对SNSPD的设计和制备工艺参数的优化,成功制备出了高质量的SNSPD.单光子检测实验表明,制备的SNSPD对660 nm波长的光信号,系统检测效率可达30%,对1550 nm波长光信号,最大系统检测效率为4.2%.在平均暗计数小于10 c/s的情况下,系统检测效率大于20%(660nm)和3%(1550 nm).