无源LCD液晶面板制造新工艺探讨

• 作者: 孙士祥
• 来源期刊: 现代显示
• 学科: 工学
• 关键词: 无源 LCD面板 刻蚀 激光 湿法 ITO
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 12-15
• 分类号: TN141.9
• 字数: 2570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6268.2011.10.005

摘要

无源LCD面板及触摸屏制作过程通常采用湿法刻蚀的方法来制作ITO电极图形,在生产过程中要用到光刻胶、刻蚀液、脱膜液等对环境有污染的材料,而对这些生产过程中的污染物要进行环保处理后才能排放。且工艺过程长,加工成本较高,加工后的ITO图形存在明显的缺陷,如ITO电极线条边缘有毛刺等。文章介绍了一种用激光刻蚀的方法来代替传统的湿法刻蚀方法,来加工用于无源LCD面板及触摸屏等平板显示器的ITO电极图形方法,缩短了工艺过程以及节约了成本、提高了产品质量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙士祥		9	80	3.0	8.0