高Q平面环形微腔二氧化碳激光熔融分析

• 作者: 刘俊 熊继军 贾鹏飞 郭涛 闫树斌
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学微腔 品质因素 激光处理 拉曼频移
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 463-466
• 分类号: TN302
• 字数: 2108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.03.029

摘要

高Q值的光学微腔,近年来受到广泛的关注.由于其极高的品质因数和WGM模式,被广泛的应用于低阈值激光,微腔量子动力学,微腔生化传感器等领域.采用MEMS工艺制备平面微盘腔,通过建立物理模型和温度场分析了微盘腔在激光下的温度分布情况,通过拉曼频移测试了环形腔的热应力.实验结果表明激光处理表面后的微环腔应力为张力,而且距离环中心越远应力越大,最后测试得到微腔品质因数为4.8×105,耦合效率在95%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	郭涛	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	86	454	11.0	15.0
3	闫树斌	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	33	65	5.0	6.0
4	贾鹏飞	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	2	1.0	1.0