基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研究进展

• 作者: 廖明杰 杜晓松 王力 胡佳 蒋亚东 谢光忠
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 化学
• 关键词: 气相色谱 气体探测 微机电系统 涂敷
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 383-390
• 分类号: O652.6
• 字数: 6072字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2011.04.008

摘要

微型气相色谱柱是基于MEMS技术的微型分析化学器件,主要用于混合化学组分的分离,采用MEMS技术制作的微 型气相色谱柱在体积上得到了极大的缩小,便于集成到便携式设备中,其次,微型器件带来更小的热容量,因而能在更小的功 耗下获得更快的升温速率,从而加快了分析速度,进而改进了器件的整体性能.针对MEMS微型气相色谱柱的研究现状,重 点从色谱柱材料选择、柱身布局及其柱内结构、制作工艺、固定相选择及涂敷方式进行了综合分析比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	61	434	12.0	16.0
2	谢光忠	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	48	408	10.0	18.0
3	胡佳	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	10	44	4.0	6.0
4	王力	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	18	38	4.0	5.0
5	廖明杰	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	3	1.0	1.0