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摘要:
介绍了目前国内三氯氢硅生产的工艺技术及改进内容。
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文献信息
篇名 改良西门子法制备三氯氢硅工艺的改进技术
来源期刊 中国氯碱 学科 工学
关键词 三氯氢硅 工艺 改进
年,卷(期) 2011,(11) 所属期刊栏目 氯产品
研究方向 页码范围 18-19
页数 分类号 TQ127.2
字数 2248字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1009-1785.2011.11.008
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 史振国 1 6 1.0 1.0
2 史宝贵 1 6 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (6)
同被引文献  (17)
二级引证文献  (14)
2011(0)
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  • 引证文献(0)
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2018(2)
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2020(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
三氯氢硅
工艺
改进
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国氯碱
月刊
1009-1785
12-1221/TQ
大16开
天津市南开区白堤路186号天津电子科技中心1105室
1981
chi
出版文献量(篇)
4860
总下载数(次)
18
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