垂直纳米光栅耦合器耦合效率分析与测试

• 作者: 仝小刚 宛克敬 崔丹凤 张文栋 晋玉剑 薛晨阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 增透膜 纳米光栅 垂直耦合 单模光纤 绝缘体上硅
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1131-1135
• 分类号: TN256
• 字数: 2624字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.08.010

摘要

介绍了基于Sol纳米光栅耦合器的理论研究及测试方法,系统研究了光栅参数对光栅耦合效率的影响,在占空比为1:1的基础上,对不同光栅槽深作了相应的理论分析,同时,还对不同角度的入射光作了相应的研究,经过仿真在入射角为10°时,对于波长为l 550 nm的入射光其耦合效率最高.除此之外,通过在光栅表面添加增透膜使其耦合效率在理论上提高至76％以上,并实验验证了增透膜可以有效的降低输入光场的端面反射及波导表面散射,增强了输出光效率.采用聚焦离子束方法(FIB)在10 μm宽的硅波导上加工了纳米光栅结构,利用单模NewFocus可调谐激光器(1 520～1 570 nm)作为激发光源,对单模光纤与硅波导光栅进行垂直耦合,得到l dB带宽近似为30 nm,耦合效率约为32％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
5	宛克敬	中北大学电子测试技术重点实验室	5	59	4.0	5.0
6	晋玉剑	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	84	3.0	5.0
7	崔丹凤	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	11	43	4.0	6.0
11	仝小刚	中北大学电子测试技术重点实验室	1	9	1.0	1.0