常用间隔层材料软X射线多层膜的设计

• 作者: 唐永建 段浩 邢丕峰 雷洁红
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 软X射线多层膜 多层膜设计 间隔层材料
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 415-417
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 1701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.03.033

摘要

为了研究常用间隔层材料的软x射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系.结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在12.44nm是首选膜系外(除4.36nm外),其它波长都有较高的反射率;U作为吸收层材料,在相当大的波段范围内,与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率.这对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	邢丕峰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	59	303	9.0	14.0
3	雷洁红	西华师范大学物理与电子信息学院	24	42	3.0	5.0
7	段浩	绵阳师范学院化学与化学工程学院	8	38	4.0	6.0