射频功率对辉光放电聚合物结构和性能的影响

• 作者: 何智兵 唐永建 张颖 闫建成 阳志林 韦建军
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: GDP涂层 红外吸收谱 热稳定性 射频功率
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 481-485
• 分类号: O461.21
• 语种: 中文

摘要

采用辉光放电技术,利用三倍频射频电源制备了不同功率下的辉光放电聚合物(GDP)涂层.并对GDP涂层进行了傅里叶变换红外吸收光谱(FT-IR)和元素分析仪表征,讨论了功率变化对其内部结构的影响.利用热重法(TG)表征了GDP涂层在30-650℃范围内的热稳定性.结果表明:随着射频功率的提高,GDP涂层的沉积速率增大;SP3CH3和联结甲基的乙烯基强度明显减小,Sp3CH2,SP2CH2和不联结甲基的乙烯基强度增加,H含量降低,C＝C键增多;热稳定性增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	韦建军	四川大学原子与分子物理研究所	57	239	8.0	12.0
3	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
4	张颖	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	99	5.0	9.0
5	阳志林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	19	3.0	4.0
6	闫建成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	7	27	4.0	4.0