镀膜机控制系统原理及电路故障分析方法

• 作者: 何方 宋健 王磊 陈晓东
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高真空镀膜机 工控机 可编程控制器( PLC)
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 1169-1170
• 分类号: TM914
• 字数: 2132字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2011.09.043

摘要

高真空镀膜机是目前应用电子束蒸发获得真空条件最为广泛的设备.空间用砷化镓太阳电池和单晶硅太阳电池金属膜及介质膜蒸镀主要依靠镀膜机来完成.其相关组成及各部件包括:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、分子泵、真空测量系统、膜厚监控系统、加热系统、行星架旋转系统、电子束蒸发系统等.要将所有部分有机融合成一体,需要一个稳定完善的控制系统,介绍了当前全自动进口真空镀膜机系统机电控制原理,并在信号控制原理的基础上阐述了电路故障的分析方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋健	中国电子科技集团公司第十八研究所	7	16	2.0	3.0
2	王磊	中国电子科技集团公司第十八研究所	76	167	6.0	10.0
3	陈晓东	中国电子科技集团公司第十八研究所	2	3	1.0	1.0
4	何方	中国电子科技集团公司第十八研究所	3	3	1.0	1.0