退火工艺对NiCr20合金溅射靶材微观组织结构的影响

• 作者: 江轩 王欣平 范亮
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: NiCr20合金靶材 退火工艺 晶粒大小及均匀性 晶粒取向及均匀性
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 81-83
• 分类号: TG156.21
• 语种: 中文

摘要

在较大冷轧变形量的情况下,研究了退火温度和退火时间对NiCr20溅射靶材再结晶晶粒大小和均匀性的影响,通过试验确定了该合金靶材900℃退火2 h得到的再结晶晶粒大小相对细小均匀,晶粒度约为68μm。在该优化的退火工艺制度下,将成品靶材坯料进行退火,取样用XRD分析其晶粒的取向,测试结果显示不同部位样品的晶粒取向分布几乎一致,说明该靶材的晶粒取向均匀。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欣平		15	69	5.0	8.0
2	江轩		7	40	3.0	6.0
3	范亮		2	3	1.0	1.0