采用数字微镜的共焦显微镜的研制

• 作者: 侯文玫 官志超 张运波 郑继红
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 共焦检测 数字微镜器件 虚拟针孔阵列 并行扫描
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳光学
• 页码范围: 65-70
• 分类号: TH742.9
• 字数: 3592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.06.011

摘要

研究了基于数字微镜器件(DMD)的多路并行共焦显微镜.利用DMD产生特定的图案对光源进行调制,形成多路并行共焦检测工作模式,其作用相当于虚拟针孔阵列,可以代替现有的并行扫描方式.采用DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式,在不损失分辨率的前提下,大大提高了测量速度.系统中虚拟针孔的大小和周期等关键参数具有程序可控制性,能够根据不同的要求对样品进行测量.解决了分光棱镜内表面反射作用对共焦成像造成的干扰问题.设计了DMD横向扫描策略.对样机进行了测试实验,取得了系统的深度响应曲线,并且成功还原了被测物表面的微结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑继红	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	55	240	9.0	13.0
2	侯文玫	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	29	131	6.0	10.0
3	张运波	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	10	56	5.0	7.0
4	官志超	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	3	15	3.0	3.0