一种垂直梳齿驱动V型梁微镜设计

• 作者: 乔大勇 孙瑞康 李晓莹 燕斌
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微镜 微扫描镜 微光机电系统 垂直梳齿
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 658-664
• 分类号: TH703.8
• 字数: 980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.05.007

摘要

设计了一种垂直梳齿驱动的V型扭转梁支撑的微镜器件.采用有限元仿真和解析方法对该器件进行了静态和动态分析.在100V直流电压下,镜面转角可达0.7°,能够满足镜而扫描所需要的起始角.同时对比了不同支撑梁结构下的前五阶模态频率以及前两阶频率比,并分析了不同梁间距以及V型梁夹角下各个参数的变化趋势,得出了使微扭转镜工作在最稳定振型的V型梁倾斜角度,确定了所设计结构的优化尺寸.最后对V型梁的扭转应力进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔大勇	西北工业大学微纳米系统实验室	15	50	3.0	6.0
2	李晓莹	西北工业大学微纳米系统实验室	13	77	5.0	8.0
3	燕斌	西北工业大学微纳米系统实验室	7	6	2.0	2.0
4	孙瑞康	西北工业大学微纳米系统实验室	2	1	1.0	1.0