点阵全息图中的光斑整形与加密

• 作者: 张世超 李耀棠 杜俊斌 范少武 黄云 黄泽文
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 点阵全息 成像系统 整形光斑 加密
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 光全息与信息处理
• 页码范围: 17-18
• 分类号: O438
• 字数: 1129字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2011.05.010

摘要

在点阵光刻系统中引入光斑整形技术，依据成像系统的成像原理，将制作在透明掩膜版的任意形状物体成像在光刻面，以实现点阵刻蚀光斑的整形。实验结果表明，通过光斑整形后的图像刻蚀光栅亮度明显优于普通点阵刻蚀系统，光斑的任意整形也可对刻蚀图像进行某些特定的加密。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李耀棠	中国科学院广州电子技术研究所	11	75	3.0	8.0
2	张世超	中国科学院广州电子技术研究所	10	42	3.0	6.0
3	范少武	中国科学院广州电子技术研究所	7	38	3.0	6.0
4	黄云	中国科学院广州电子技术研究所	21	128	7.0	11.0
5	杜俊斌	中国科学院广州电子技术研究所	5	0	0.0	0.0
6	黄泽文	中国科学院广州电子技术研究所	2	0	0.0	0.0