提高微波功率双极晶体管性能的研究

• 作者: 王建志 藩宏菽
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波 功率晶体管 浅结 击穿电压 镇流电阻
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 制造工艺技术
• 页码范围: 443-445
• 分类号: TN322.8
• 字数: 1633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.06.007

摘要

通过对硅S波段微波功率双极晶体管的结终端技术实验数据对比和晶体管镇流电阻设计的考虑,提高了微波功率双极器件的击穿电压和电流通过能力及抗烧毁能力.微波器件采用这些技术后,器件的工作频率不但没有降低,反而从原来的S波段的低端(2.25～2.55 GHz),提高到了中高端(3.1～3.5 GHz);器件的集电结反向击穿电压50 V以上的比率由原来的17.6%提高到63.5%;器件的功率增益也从6dB提高到7.5dB以上,证明了该工艺方法的有效性与可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建志	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	1	1.0	1.0
2	藩宏菽	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	1	1.0	1.0