磁控溅射气体团簇源中团簇形成的DSMC研究

• 作者: 张连华 李公平 林巧露 柳学敏 潘小东 王晓冬
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: DSMC方法 磁控溅射团簇源 团簇的尺寸
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 原子、分子与团族物理
• 页码范围: 1032-1036
• 分类号: O561
• 字数: 2860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2011.06.009

摘要

利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了磁控溅射气体团簇源中Cu+ (Cu-)的含量比例不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:随着含量比例的增加,团簇的尺寸分布变窄了,不带电的团簇的比例增加,不带电的铜团簇分布的最大值减小,相应的带正电荷和带负电荷团簇的比例减小；相同的含量比例下,带正电的团簇的尺寸分布与带负电荷的团簇的尺寸分布基本相同;初始Cu-比Cu+的含量比例大时,输出的主要是带负电荷的团簇,带正电荷和不带电的团簇占很小的比例；Cu-含量比例的增加,负Cu团簇的尺寸分布减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李公平	兰州大学核科学与技术学院	75	243	7.0	12.0
2	潘小东	兰州大学核科学与技术学院	25	66	5.0	6.0
3	王晓冬	兰州大学核科学与技术学院	3	6	1.0	2.0
4	张连华	兰州大学核科学与技术学院	3	0	0.0	0.0
5	柳学敏	兰州大学核科学与技术学院	3	4	1.0	2.0
6	林巧露	兰州大学核科学与技术学院	1	0	0.0	0.0