高量程加速度传感器在测试中的失效分析

• 作者: 刘俊 唐军 张贺 石云波 赵锐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高量程加速度传感器 Hopkinson杆 侵彻 失效
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1422-1425
• 分类号: TP212
• 字数: 2225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.10.010

摘要

通过在不同测试环境对高量程加速度传感器进行测试,并对传感器在测试中出现的失效进行分析,在实验室环境测试中出现的主要失效模式为键合引线的脱落和微梁的断裂,其原因是不同金属的引线键合强度较低；重复性的冲击加速了材料的疲劳.在实弹测试环境测试中出现的传感器失效原因主要足在侵彻测试中传感器芯片与侵彻信号中高频分量发生共振导致过载增大,传感器芯片上的微结构位移失控,造成传感器结构断裂.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
5	石云波	中北大学电子测试国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
9	唐军	中北大学电子测试国家重点实验室	64	114	5.0	9.0
10	赵锐	中北大学电子测试国家重点实验室	9	61	4.0	7.0
14	张贺	中北大学电子测试国家重点实验室	1	5	1.0	1.0