非晶硅薄膜太阳能电池激光除边工艺研究

• 作者: 何里 卢飞星 王中
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 非晶硅薄膜太阳能电池 激光除边 脉冲光纤激光器 光斑交叠比
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 160-162
• 分类号: TN249
• 字数: 1208字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.02.005

摘要

为了解决在非晶硅薄膜太阳能电池的制备中,喷砂除边工序存在污染大、加工一致性不佳等问题,使用1064nm脉冲光纤激光器,在加工速率3500mm/s、功率30W、重复频率80kHz、填充线间距0.05mm的参量下,完成了激光除边,获得了清除区电阻大于1000MΩ的样品.根据实验效果确定了最佳光斑交叠比,x和y方向的最佳比值分别为0.83和0.88.结果表明,激光功率足够时,光斑交叠情况会明显影响除边的效率和效果,扫描速率应与重复频率和填充线间距匹配,从而在最佳效率下获得理想的加工效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢飞星		6	34	2.0	5.0
2	王中	华中科技大学激光加工国家工程研究中心	12	32	4.0	5.0
6	何里		1	4	1.0	1.0