氧化锌/金刚石薄膜异质结紫外光探测器

• 作者: 唐可 夏义本 张继军 王林军 鲁雄刚 黄健
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自支撑金刚石 氧化锌 探测器 异质结
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 272-276
• 分类号: O472.3|TN315
• 字数: 1462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113203.0272

摘要

采用射频磁控溅射法在p型自支撑金刚石衬底上制备了高度c轴取向的n型氧化锌薄膜.研究了不同的溅射功率对氧化锌薄膜质量的影响.通过半导体特性分析系统测试了氧化锌/金刚石异质结的电流-电压特性,结果显示该异质结二极管具有良好的整流特性,开启电压约为1.6 V.在此基础上制备了结型紫外光探测器,并对其光电性能进行了研究.结果表明,在施加反向偏压的条件下,该探测器对紫外光具有明显的光响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲁雄刚	上海大学材料科学与工程学院	110	955	14.0	25.0
2	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
3	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
4	黄健	上海大学材料科学与工程学院	17	28	3.0	4.0
5	张继军	上海大学材料科学与工程学院	20	48	4.0	6.0
6	唐可	上海大学材料科学与工程学院	4	12	2.0	3.0