硅基光子晶体热释电红外传感器衬底的研制

• 作者: 惠鹏飞 苗凤娟 陶佰睿
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 一维光子晶体 阵列化 FTIR 隔热衬底
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 380-382
• 分类号: TP212.9
• 语种: 中文

摘要

在借助光刻等微电子工艺手段的基础上,通过控制交替变换的阳极氧化电流成功地制备出了阵列化的多孔硅一维光子晶体,然后在其表面沉积了一层500nm Si3 N4用于改善其表面粗糙度,使该结构更好地应用于热释电红外传感器之中.通过傅里叶红外反射谱(FTIR)测试证明该样品有较好的光学反射性能,探索了将这种阵列化的多孔硅一维光子晶体应用于制备高性能红外热释电传感器衬底的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苗凤娟	齐齐哈尔大学通信与电子工程学院	96	292	8.0	13.0
2	惠鹏飞	齐齐哈尔大学通信与电子工程学院	36	91	5.0	7.0
3	陶佰睿	齐齐哈尔大学通信与电子工程学院	107	362	10.0	14.0