弹性球状小磨头加工WolterⅠ型掠入射反射镜的去除函数

• 作者: 崔天刚 王永刚 陈斌 陈波 马文生
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: WolterⅠ型掠入射反射镜 Preston方程 弹性球状小磨头 旋偏动模式 去除函数 赫兹接触理论
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 10-16
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 2063字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111901.0010

摘要

提出用弹性球状小磨头以旋进方式加工WolterⅠ型反射镜的柱面内表面,根据Preston方程、Hertz接触理论和掠入射反射镜特殊的柱面结构,推导出基于旋偏动模式的磨头去除函数理论模型.实验结果表明,理论去除函数曲线与实验曲线的均方根距离偏差σ为0.101 22 μm,偏差比值κ为9.8%.分析验证了不同旋偏角对去除函数的影响并与理论模拟结果进行了比较.结果显示, 随着旋偏角的增大,最大去除值位置逐渐向y轴正方向偏移.不同的旋偏角,最大理论去除深度与最大实际去除深度的均方根偏差为0.201 μm;最大理论去除位置与最大实际去除位置的均方根偏差为0.255 mm.旋偏角越大,材料去除量就越多,去除函数也越显对称.实验结果很好地验证了去除函数理论模型的准确性,该模型可指导WolterⅠ型掠入射反射镜的加工,实现确定性材料去除.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	陈斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	105	1004	16.0	28.0
3	马文生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	37	4.0	6.0