Zr基非晶合金超塑性成形工艺研究

• 作者: 喻强 廖广兰 朱志靖 王俊
• 来源期刊: 华中科技大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶合金 超塑性 成形工艺 硅模具 温度控制
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 材料与船舶工程
• 页码范围: 29-32
• 分类号: TG316
• 语种: 中文

摘要

采用感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了微型硅模具,基于硅模具研究了非晶合金Zr41.25Ti13.75Ni10Cu12.5Be22.5的超塑性微零件成形工艺.采用差示扫描量热仪测定了Zr41.25Ti13.75Ni10Cu12.5Be22.5的过冷液相区间为360～440℃,在过冷液相区间热压成形非晶合金微零件、机械研磨去除零件飞边和采用40%的KOH溶液腐蚀去除硅模具,得到非晶合金微型零件.自主研制了成形设备,仿真分析与实验相结合,解决了成形过程中设备的温度控制问题,比较分析了不同温度下的成形结果,实验与仿真结果符合较好.在410℃条件下成功制备出模数0.03、齿数66和厚度500μm的微型内齿轮,齿形轮廓清晰,X射线衍射仪扫描结果显示该微齿轮为非晶结构,从而验证了采用该工艺制备微型零件的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖广兰	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	64	654	12.0	24.0
2	王俊	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	60	508	10.0	20.0
3	喻强	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	2	16	2.0	2.0
4	朱志靖	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	2	13	2.0	2.0