光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计

• 作者: 倪明阳 巩岩 张巍 王学亮 袁文全 赵磊
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 比例模型 相似准则 数值传热分析 热分布
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件与系统
• 页码范围: 60-65
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.01.012

摘要

为了进行光刻物镜恒温水套先期设计分析,采用相似性原理设计了一个恒温水套的小比例模型实验,并采用数值仿真的办法,证明了该小比例模型实验设计方法的正确性.首先根据恒温水套的结构形式给出了传热控制方程.接着对各控制方程进行分析,得出了稳定传热情况下模型实验设计的相似准则.然后根据相似准则设计了一个光刻物镜恒温水套的1:4小比例模型.最后通过数值仿真分析了1:4小比例模型及原型上的热场分布,计算结果表明它们之间的热场分布具有相似性.结论表明:在进行光刻物镜恒温水套小比例模型的稳定传热实验设计时,需要满足几何相似、雷诺数相似、普朗特数相似,毕奥数相似及边界条件相似.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	72	423	13.0	17.0
2	张巍	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	254	8.0	14.0
3	王学亮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	29	3.0	5.0
4	赵磊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	37	438	12.0	20.0
5	倪明阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	14	75	5.0	8.0
6	袁文全	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	55	4.0	7.0