光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制

• 作者: 刘川 武志鹏 陈兴林
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 宏微控制 最优积分滑模面 滑模控制:工件台
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 页码范围: 50-54
• 分类号: TP273+.2
• 字数: 2138字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.09.010

摘要

为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构.微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和.通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒性.根据频率整型法设计了时变滑模面,可以起到低通滤波的效果.变增益切换控制律可以有效地减小抖振现象.仿真结果表明,曝光扫描过程中的最大位置偏差为8.7 nm,标准差为2.2 nm.扫描速度保持平稳,同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学控制科学与工程系	164	1267	18.0	24.0
2	武志鹏	哈尔滨工业大学控制科学与工程系	7	58	5.0	7.0
3	刘川	哈尔滨工业大学控制科学与工程系	8	73	5.0	8.0