具有不对称弹性梁的梳状微加速度计的结构变形分析

• 作者: 何江波 谢进
• 来源期刊: 机械
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 不对称弹性梁 有限元分析
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 5-8
• 分类号: TH113.2
• 字数: 1896字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0316.2011.10.002

摘要

通常情况,梳状微加速度计具有对称结构.但是加工工艺的缺陷可能导致梳状微加速度计的弹性梁不对称,引起结构发生扭转运动.对于双端固定梁式结构,分析了弹性梁的不对称性对结构等效刚度的影响.在假设弹性梁长度相等,但弯曲刚度不相等的前提下,推导出了结构的等效刚度计算公式,并将其推广到任意不对称情况.最后用有限元仿真实例验证了理论计算公式的正确性.所采用的分析方法可以运用于其他具有不对称弹性梁的MEMS结构的变形分析及其误差灵敏度分析中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢进	西南交通大学机械工程学院	67	343	10.0	15.0
2	何江波	西南交通大学机械工程学院	6	44	4.0	6.0