不同厚度TiN和TiAlN涂层残留应力分析

• 作者: 张祥林 曾传亮 王海洋 肖祥芷
• 来源期刊: 模具工业
• 关键词: TiN TiAIN XRD 残留应力 涂层厚度 精冲模
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 模具制造技术
• 页码范围: 64-69
• 分类号: TG704
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2168.2011.11.019

摘要

TiN和TiAlN涂层常应用于精冲模,采用XRD技术分析了不同厚度TiN和TiAlN涂层的相变化,并采用Sin2Ψ法测量了TiN涂层和基体以及TiAlN基体的残留应力,应用显微硬度计测量了涂层的显微硬度.结果表明:TiN涂层(111)和(222)晶面存在明显择优取向,涂层残留应力分布在-2 347 ～ -1920MPa,基体残留应力分布在-154.9～-69.21 MPa,均随厚度增加而减小；TiAIN涂层主要相成分为Ti3Al3N2,且(107)晶面存在择优取向,基体残留应力分布在-123.7 ～ 469.5 MPa,主要呈拉应力状态,且随厚度增加而增大,对模具寿命有较大影响；TiN和TiAIN涂层显微硬度随厚度增加而增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张祥林	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	81	517	11.0	18.0
2	肖祥芷	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	37	693	12.0	25.0
3	王海洋	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	1	3	1.0	1.0
4	曾传亮	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	1	3	1.0	1.0