ZnO/Ag/ZnO多层结构薄膜的光电性质

• 作者: 张吉英 张振中 李炳辉 申德振 赵东旭 郭亮
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO多层结构 银薄层 光致发光 光响应
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 920-923
• 分类号: O472.8|O482.31
• 字数: 1755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113209.0920

摘要

通过磁控溅射方法生长了不同银层厚度的ZnO/Ag/ZnO多层结构的薄膜,并对其形貌、光吸收谱、光致发光和光响应特性进行了比较研究.结果表明ZnO薄膜中银薄层的加入使得光致发光的强度增强.银层厚度为6 nm样品制成的器件在350 nm处的光响应度为0.06 A/W,相对于ZnO薄膜提高了一个数量级.而当银层厚度达到15 nm时,光响应度反而下降.