Effect of E × B electron drift and plasma discharge in dc magnetron sputtering plasma

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篇名	Effect of E × B electron drift and plasma discharge in dc magnetron sputtering plasma
来源期刊	中国物理B（英文版）	学科
关键词	electron drift velocity Mach probe cylindrical magnetron sputtering
年，卷（期）	2011,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	435-443
页数	9页	分类号
字数		语种	英文
DOI	10.1088/1674-1056/20/1/014701

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