聚合物涂层法电光检测技术研究

• 作者: 安玲玲
• 来源期刊: 长春大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 电光检测 空间分辨率 聚合物涂层
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 电气
• 页码范围: 1-4
• 分类号: TN407
• 字数: 3164字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3907-B.2011.05.001

摘要

研究了针对于集成电路的聚合物涂层法电光检测技术,测量了模拟和数字的集成电路,从实验上取得了很高的系统空间分辨率.