不等基频硅微谐振式加速度计

• 作者: 杨波 陈卫卫 黄丽斌
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 谐振器 耦合 不等基频
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1538-1541
• 分类号: TP391.9
• 字数: 1998字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.11.005

摘要

分析了硅微谐振式加速度计的两个谐振器在谐振频率相交点附近区域产生耦合的原因,设计了一种新型的不等基频硅微谐振式加速度计,并对其进行了有限元仿真.该加速度计由质量块、放大惯性力的杠杆机构以及一对尺寸不同的谐振器组成.采用DDSOG工艺加工.利用ANSYS有限元软件进行仿真,结果表明加速度计上谐振器的谐振基频为124 678 Hz,下谐振器的谐振基频为125 855 Hz,频率差为1 177 Hz,在全量程范围内谐振频率不相交,可以很好的消除两个谐振器之间耦合的影响,去除了测量盲区;该加速度计的标度因数为92 Hz/gn,量程为±10 gn.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨波	东南大学仪器科学与工程学院	74	553	13.0	19.0
2	黄丽斌	东南大学仪器科学与工程学院	25	306	12.0	16.0
3	陈卫卫	东南大学仪器科学与工程学院	1	11	1.0	1.0