大功率垂直腔面发射激光器的相干性测量与分析

• 作者: 刘云 史晶晶 宁永强 张金龙 曹军胜 王立军 秦莉
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 列阵 相干性
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 834-838
• 分类号: TN248.2
• 字数: 2470字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113208.0834

摘要

通过有机化学气象沉积(MOCVD)技术在n型GaAs衬底上生长制作了发射波长为850nm的VCSELs4×4列阵器件,介绍了VCSELs的制作工艺流程.对器件进行了相干性测量,计算了干涉条纹可见度,分析了影响干涉条纹可见度的因素.