曲折型三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究

• 作者: 周勇 夏鹏 王韬 陈磊 雷剑
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: MEMS 曲折型三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 GMI
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试剂
• 页码范围: 60-63
• 分类号: O484.4+3
• 字数: 3125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.10.016

摘要

采用微机电系统(MEMS)技术在玻璃基片上制备了曲折型三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在电流频率1～40 MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜的巨磁阻抗(GMI)效应,并分别通过改变FeNi薄膜的宽度、厚度和Cu薄膜的宽度,研究了尺寸对巨磁阻抗效应的影响,当磁场Ha施加在薄膜的纵轴时,巨磁阻抗变化率随磁场强度的增加而增大,在某一磁场强度下达到最大值,然后随磁场强度的增加而下降到负值.在电流频率为2 MHz,磁场强度为2kA · m-1时,巨磁阻抗变化率达到最大值169.85％.