溅射气压对Ti/Al多层膜结构和热稳定性的影响

• 作者: 田维 郭巧杭
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 物理学
• 关键词: Ti/Al软X射线光学多层膜 溅射气压 微结构 热稳定性
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 30-33
• 分类号: O484.5
• 字数: 4207字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2011.07.008

摘要

为研究Ti/Al多层膜的结构和热稳定性与溅射气压的关系,采用对向靶直流磁控溅射法在0.5、2.0 Pa的溅射气压下制备了Ti/Al软X射线光学多层膜(Λ=9.25 nm,Г=0.3,N=20),并采用低角度X射线衍射、高角度X射线衍射和原子力显微镜对其结构和热稳定性进行表征.发现:低溅射气压(0.5 Pa)下制备的多层膜具有相对高质量、有序的结晶层,导致了相对较小的表面粗糙度,热稳定性好；高溅射气压(2.0 Pa)下制备的多层膜周期性结构相对较差,晶向较为无序,表面粗糙度较大,结构热稳定性差.可见,Ti/Al多层膜的结构和热稳定性是溅射气压的函数,低溅射气压下制备的多层膜会获得更好的结构和热稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭巧杭	福建工程学院数理系	5	6	1.0	2.0
2	田维	天津城市建设学院基础学科部	6	14	3.0	3.0