步进电机脉冲当量及回程差的微位移测量系统

• 作者: 丁宝卫 任忠国 刘小亮 孙少华 胡碧涛
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 激光技术 脉冲当量 回程差 微位移 He-Ne激光 牛顿环仪
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与电子技术应用
• 页码范围: 603-605
• 分类号: TH744
• 字数: 1928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.008

摘要

为了精确测量步进电机的脉冲当量和同程差,提出了一种基于薄膜干涉原理的激光微位移测量系统.该系统以He-Ne激光器为光源,配以牛顿环仪系统、面阵电荷耦合器视频信号采集系统、计算机及数据处理软件等.采用条纹记数法实现微位移测量,具有1/400波长的位移分辨率.与传统测量方法相比,其精度、灵敏度及稳定性都有较大提高,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量.对TSA50-C型商用步进电机进行了测量.结果验证了这种测量系统在普通实验室环境噪声中可以达到纳米级的位移测量精度.结果表明,对于5μm以下的脉冲当量及回程差的测量,该测最系统的相对误差分别为2.63％和0.44％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙少华	兰州大学核科学技术学院	35	117	6.0	8.0
2	任忠国		10	26	2.0	4.0
3	丁宝卫	兰州大学核科学技术学院	12	22	2.0	4.0
4	胡碧涛	兰州大学核科学技术学院	27	50	4.0	5.0